匀胶机顾名思义是一种可以“让胶液均匀涂敷的机器”。匀胶机是一种常见用于材料薄膜制备工艺的实验室设备,它的原理相对比较简单,利用电机高速旋转时所产生的离心力使得试液或者胶液均匀地涂敷在基底材料的表面。
匀胶机有很多称谓如:匀胶台、旋转涂膜机、旋转涂层机或者旋转涂敷机等等,它的英文是 Spin Coater旋转涂膜的意思。
匀胶机既然是科研开发上制备薄膜材料必备的方法之一。使用者对于该设备大的期待就在于其能够“均匀”地涂敷试液或者胶液。通常我们会用均一性和可重复性来衡量薄膜材料制备的好坏。
国内外对于这种匀胶旋涂设备的发展呈现出很大的差距。中国国内先开展匀胶机研制的单位是中科院微电子所,推出的KW-4A型号的匀胶机,具有低速起步和高速旋转两个单位。